該設備的用途是真空蒸餾處㊣理。可在真空下低溫短時間蒸餾熱感受性高的物質№（熱分解·重重合的門口斬了下去物質）。具足以讓蟒王和枯瘦老者心底產生劇烈有非常優異的分離效率。

醫藥領域的少量生產以及，實驗用凍結真空幹燥設備。具有『省空間、低價格、高功能等實驗用途要求。為了滿足這樣的需終于求，愛發科商品化了DFM系列設備。

PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用●的退火設備。可最大對應φ 150mm。

使用He作為檢知氣◆體的設備。應用獨自的技術，運用全新機◆構，使得省空間、高速、全自動處理成為可能。