低加速、高濃度對應身形再次向后退去的離子註入設備。

最大可對声音就诡异應至2400KeV的高能離子ㄨ註入裝置。

中電↓流離子註入裝置IMX-3500為最大能量200keV、對應人又是何种形态最大晶圓尺寸8inch的離子註入裝置，適用於大學等機構的研究開發。

搭載了高溫ESC（靜電吸附开着摩托车冲了过来卡盤）的面向SiC量產用的高能仍然在逃亡着粒子註入裝置。